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晶圓自動光學(xué)檢測設(shè)備
NanoPro-100系列晶圓自動光學(xué)檢測設(shè)備
NanoPro-100系列產(chǎn)品
是中導(dǎo)光電首臺推向市場的
納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備,
其
適用于0.13-0.18um工藝產(chǎn)線的IC有圖形和無圖形晶圓
缺陷檢測。
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