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產(chǎn)品&技術(shù)

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NanoPro-100系列晶圓自動光學(xué)檢測設(shè)備

         NanoPro-100系列產(chǎn)品是中導(dǎo)光電首臺推向市場的納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備，其適用于0.13-0.18um工藝產(chǎn)線的IC有圖形和無圖形晶圓缺陷檢測。


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