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晶圓自動光學檢測設備
NanoPro-200系列晶圓自動光學檢測設備
NanoPro-200系列產品
是中導光電即將推向市場的第二代
納米圖形晶圓缺陷檢測設備,
其
適用于65nm-0.11um工藝產線的IC有圖形和無圖形晶圓
缺陷檢測。
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