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產品&技術

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NanoPro-200系列晶圓自動光學檢測設備

   NanoPro-200系列產品是中導光電即將推向市場的第二代納米圖形晶圓缺陷檢測設備，其適用于65nm-0.11um工藝產線的IC有圖形和無圖形晶圓缺陷檢測。

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