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晶圓自動光學檢測設備
MDI晶圓自動光學檢測設備
MDI產品
是中導光電推向市場的
微米級晶圓缺陷檢測設備,
其
適用于0.5-1um工藝產線的IC有圖形和無圖形晶圓
缺陷檢測。
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